【招商】北方华创清洗设备再获认可助推芯片制造国产化进程-北京产业园区

【招商】北方华创清洗设备再获认可助推芯片制造国产化进程

机械设备

所属地区：北京发布日期：2025年07月19日

国产半导体装备领域取得新进展，北方华创自主研发的核心设备成功进入主流芯片代工厂生产线。其Saqua系列12寸单片清洗机获得中芯国际追加订单，正式应用于该企业位于北京市的B2芯片制造产线。与此同时，该企业自主研发的BoosterA630单片退火设备也顺利导入上海市华力微电子新建厂房。这一系列突破标志着国产高端半导体设备在市场化应用和招商引资方面取得实质性成果，为提升产业链自主可控能力提供了有力支撑。
一、技术成果获得市场持续验证
2024年，半导体设备制造商北方华创在先进制程装备领域迎来重要里程碑。其推出的Saqua系列12寸单片铜互连清洗机，继首次获得订单后，成功赢得客户——国内晶圆代工龙头企业中芯国际的重复采购。该设备已正式进驻中芯国际位于北京市经济技术开发区的重要生产平台B2产线，用于28纳米工艺制程的量产环节。这标志着该清洗设备的技术性能、稳定性和量产保障能力，已完全满足国际领先晶圆厂的严苛标准要求，获得了市场的持续性认可。
二、关键设备展现技术先进性
此次获得二次订单的Saqua清洗机，是面向先进逻辑和存储芯片制造的重量级装备。清洗工序在芯片制造中至关重要，尤其是在纳米级精密制造环节，其洁净度直接决定产品良率和性能。该设备针对铜互连工艺进行了专项优化，解决了铜污染控制、高深宽比结构清洗等业内公认的技术难点。单片式设计相较于槽式清洗具备更高的工艺控制精度和灵活性，能有效提升复杂结构芯片的生产良率，尤其适用于28纳米及以下先进节点的量产需求。设备的成功导入，为国产装备参与高端芯片制造开辟了通路。
三、产业环境催生自主装备突破
此次突破发生于全球半导体产业链格局深度调整的特殊时期。2022年以来，国际地缘政治因素持续影响高技术领域供应链稳定，我国亦将半导体产业链自主可控提升至前所未有的战略高度。政策环境的持续优化与市场需求的牵引，为本土半导体装备企业创造了难得的发展机遇期。半导体清洗设备作为价值量较高的前道核心设备，长期以来由境外企业主导。国内设备厂商通过长期高强度的研发投入，逐步在部分细分领域取得突破。北方华创在刻蚀设备获得市场认可后，其清洗设备再次打入主流代工厂，表明国产半导体装备体系正逐步完善并得到实际验证。
四、设备序列化提升产业综合实力
北方华创的成就不仅体现在单一产品线上。与清洗设备获得二次订单几乎同步，其自主研发的另一重要设备——BoosterA630单片退火系统，也实现了重大市场突破。该设备作为首台被引入华力微电子在上海市新建的集成电路生产线的国产高端工艺装备，具有标志性意义。退火工艺对芯片电性能有决定性影响，该设备的成功导入进一步证明了国产装备在集成电路核心制造环节正实现多点开花，由点及面地扩展应用范围。这种多样化、序列化的装备研发与市场拓展能力，是衡量一个地区乃至国家半导体装备产业综合实力的关键指标，也显著增强了北京市、上海市等集成电路产业集聚区招商引资的技术基础与吸引力。
国产半导体设备的持续进步，不仅体现在技术指标的追赶，更体现在其在实际量产环境中经受住考验并被市场重复选用。这一进展为构建更为安全、高效、自主可控的半导体产业链生态提供了坚实的支撑。

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