【北京招商】中国“芯”关键装备突破离子注入机加速国产化落地-北京产业园区

【北京招商】中国“芯”关键装备突破离子注入机加速国产化落地

智能装备

所属地区：北京发布日期：2025年07月18日

北京市通过招商引资推动集成电路装备产业升级，离子注入机国产化近日取得重大突破。作为半导体制造核心装备，其批量销售标志着我国在高端装备领域自主可控能力提升，为产业链安全提供有力支撑。
（一）离子注入机是半导体制造的“神经中枢”，承担着芯片掺杂工艺的核心任务。半导体器件需通过掺入特定杂质改变电性能，离子注入机正是执行这一工艺的标准设备，其技术水平直接决定芯片的性能与良率。该设备集成了精密机械、真空物理、离子光学等多学科技术，生产组装对精度要求极高，长期以来全球市场由少数国际企业垄断，我国半导体产业面临“卡脖子”风险。
（二）烁科中科信公司通过建立标准化生产体系实现技术突破。该公司制定全模块标准作业指导书，建立关键模块过程控制卡，规范设备布线布管及管线检查流程，统一装配与检验标准，确保机台装配的完整性与准确性。2023年上半年，中束流离子注入机实现批量销售，大束流机型完成多台销售并具备产业化条件，设备性能达到国际同类产品水平，全年出货量有望实现翻番，打破了高端离子注入机长期依赖进口的局面。
（三）国产离子注入机产业化将助力集成电路产业升级。作为国之重器，集成电路装备国产化是保障产业链供应链安全的关键。烁科中科信将持续提升核心技术创新能力，在集成电路大产线、三代半导体产线及材料制备领域加大投入，推进设备产业化应用。同时，公司已启动适用于更先进工艺节点的离子注入机研发，瞄准3纳米及以下制程需求，推动我国半导体装备技术向全球前沿迈进。
（四）地方政府通过政策扶持与产业链协同加速国产化进程。北京市将集成电路装备产业作为重点发展领域，通过招商引资吸引上下游企业集聚，构建涵盖设备研发、零部件配套、工艺验证的产业生态。依托京津冀集成电路产业协同发展优势，相关企业与科研机构开展联合攻关，在离子源、加速管等关键部件上实现技术突破，为设备国产化提供了坚实支撑。
（五）离子注入机国产化具有重要战略意义。该突破不仅降低了我国半导体制造企业的设备采购成本，更通过技术自主可控保障了产业安全。随着国产化设备在更多产线的应用，将进一步提升我国在全球半导体产业链中的话语权，为5G通信、人工智能、新能源汽车等战略性新兴产业发展提供核心支撑。

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